| Номер документа в системі: | 34925 |
| Автор: | Таиров Ю. М. |
| Назва документа: | Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов |
| Видавництво: | Лань |
| Місто видання: | Санкт-Петербург |
| Рік видання: | 2002 |
| УДК | 621.315.592.002(075.8)+621.315.61.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 424 с. |