| Номер документа в системі: | 3496 |
| Автор: | Серянов Ю. В. |
| Назва документа: | Технологические перспективы лазерно-стимулированного электролиза |
| Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.794.4.047:621.373.826(ои |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.79(ои) |
| Аннотація | Часть II:Лазерно-электрохимическое травление материалов ИЭТ. |
| Кількість сторінок | 52 с. |