| Номер документа в системі: | 352464 |
| Автор: | Запорізьк. нац. техн. ун-т. Каф. мікро- та наноелектроніки |
| Назва документа: | Методичні вказівки до практичних занять та самостійної роботи з дисципліни "Методи діагностики та аналізу мікро- і наноструктур" для студентів спеціальності 153 "Мікро- та наносистемна техніка", |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| Рік видання: | 2018 |
| УДК | 539.26(076) |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | №7355е |
| Кількість сторінок | 122 с. |