Номер документа в системі: | 35463 |
Автор: | Андреев В. М. |
Назва документа: | Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Сов. радио |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1975 |
УДК | 621.382.002+621.315.592.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 328 с. |