Номер документа в системі: | 43135 |
Автор: | Багрий И. П., Чечко Г. А. |
Назва документа: | Моделирование процессов плазмохимического травления в технологии производства ИС |
Видавництво: | АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова |
Місто видання: | Киев |
Рік видання: | 1989 |
УДК | 621.3.049.77.002:621.794.4 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3.049.77 |
Кількість сторінок | 20 с. |