Номер документа в системі: | 44638 |
Автор: | Барабан А. П., Булавинов В. В., Коноров П. П. |
Назва документа: | Электроника слоев SIO2 на кремнии |
Видавництво: | ЛГУ |
Місто видання: | Ленинград |
Рік видання: | 1988 |
УДК | 537.311.322:539.211 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 537 |
Кількість сторінок | 302 с. |