| Номер документа в системі: | 47063 |
| Автор: | Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. |
| Назва документа: | Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.315.592.08 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 264 с. |