| Номер документа в системі: | 48724 |
| Автор: | Беккер Я. М., Боргмон В. А., Мягконосов П. П. |
| Назва документа: | Применение светочувствительных стекол в микроэлектронике |
| Видавництво: | ЛДНТП |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.3.049.77.002.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 20 с. |