| Номер документа в системі: | 5042 |
| Автор: | Готра З. Ю., Бобицький Я. В. |
| Назва документа: | Лазерні методи обробки в мікроелектроніці |
| Видавництво: | Світ |
| Місто видання: | Львів |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.373.826 |
| ISBN | 5-11-000838-8 |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 168 с. |