| Номер документа в системі: | 50673 |
| Автор: | Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. |
| Назва документа: | Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем |
| Видавництво: | Политехника |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.382.002+621.3.049.77.002 |
| ISBN | 5-7325-0001-4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 288 с. |