| Номер документа в системі: | 54767 |
| Автор: | Березин Г.Н., Никитин А.В., Сурис Р.А. |
| Назва документа: | Оптические основы контактной фотолитографии |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 103 с. |