Номер документа в системі: | 57268 |
Автор: | Берри Р., Холл П., Гаррис М. |
Назва документа: | Тонкопленочная технология |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1972 |
УДК | 621.3.049.772 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 336 с. |