| Номер документа в системі: | 58388 |
| Автор: | Блинов И.Г., Кожитов Л.В. |
| Назва документа: | Оборудование полупроводникового производства |
| Видавництво: | Машиностроение |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.382.0025(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 264 с. |