| Номер документа в системі: | 60079 |
| Автор: | Боков Ю.С. |
| Назва документа: | Фото-, электронно- и рентгенорезисты |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.384 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 136 с. |