| Номер документа в системі: | 60714 |
| Автор: | Борисенко А. С., Бавыкин Н. И. |
| Назва документа: | Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств |
| Видавництво: | Машиностроение |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.77.002(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 320 с. |