| Номер документа в системі: | 63166 |
| Автор: | Бубенников А. Н. |
| Назва документа: | Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1989 |
| УДК | 621.3.049.77.001(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 320 с. |