| Номер документа в системі: | 63278 |
| Автор: | Бузанева Е. В. |
| Назва документа: | Микроструктуры интегральной электроники |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.382.049.77 |
| ISBN | 5-256-00419-0 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 304 с. |