Номер документа в системі: | 63559 |
Автор: | Булкин А. Д., Якивчик Н. И. |
Назва документа: | Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Энергоатомиздат |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1984 |
УДК | 621.382.002(075.3) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.38 |
Кількість сторінок | 256 с. |