| Номер документа в системі: | 64738 |
| Автор: | Быстров Ю.А., Колгин Е.А., Котлецов Б.Н. |
| Назва документа: | Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.562 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 168 с. |