Номер документа в системі: | 66023 |
Автор: | Бубнов Ю. З., Лурье М. С., Старос Ф. Г. |
Назва документа: | Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом обьеме |
Видавництво: | Советское радио |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1975 |
УДК | 539.23 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 539.2 |
Кількість сторінок | 161 с. |