| Номер документа в системі: | 66090 |
| Автор: | Валиев К. А. |
| Назва документа: | Физика субмикронной литографии |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776+776:53 |
| ISBN | 5-02-014381-2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 528 с. |