| Номер документа в системі: | 66216 |
| Автор: | Валиев К. А., Раков А. В. |
| Назва документа: | Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 352 с. |