| Номер документа в системі: | 67282 |
| Автор: | Васильев В. Ю. |
| Назва документа: | Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении |
| Видавництво: | ЦНИИ "Электроника" |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.793.16 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77(ои) |
| Кількість сторінок | 55 с. |