| Номер документа в системі: | 67310 |
| Автор: | Васильев Г. В. |
| Назва документа: | Формирование элементов мегабитовых дозу |
| Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.3.049.77.022:621.794.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 681.3(ои) |
| Кількість сторінок | 72 с. |