Номер документа в системі: | 68121 |
Автор: | Васичев Б. Н. |
Назва документа: | Развитие рентгеновской и ионной литографии |
Видавництво: | Знание |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1988 |
УДК | 621.382.002:776+621.3.049.77.002:776 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.38 |
Кількість сторінок | 64 с. |