| Номер документа в системі: | 68317 |
| Автор: | Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П. |
| Назва документа: | Введение в фотолитографию |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.382.002:776+621.383 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 400 с. |