| Номер документа в системі: | 69262 |
| Назва документа: | Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.5.011.56(075.8) |
| ISBN | 5-06-000731-6 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 334 с. |