Номер документа в системі: | 69262 |
Назва документа: | Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1991 |
УДК | 621.3.049.77.002:658.5.011.56(075.8) |
ISBN | 5-06-000731-6 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3.049.77 |
Кількість сторінок | 334 с. |