| Номер документа в системі: | 70416 |
| Автор: | Величко А. А., Илюшин В. А. |
| Назва документа: | Механизмы роста, структура и электро-физические свойства гетероэпитаксиальных слоев арсенида индия, полученных методом молекулярно-лучевой эпитации |
| Видавництво: | ЦНИИ Электроника |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.315.592:546'6 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315(011) |
| Кількість сторінок | 50 с. |