| Номер документа в системі: | 72199 |
| Автор: | Верховский Е. И. |
| Назва документа: | Лазерная технология в производстве интегральных микросхем |
| Видавництво: | Высш. шк. |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 621.3.049.77.022:6217/.9.048.7:621.373.826(075.3) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 54 с. |