| Номер документа в системі: | 72366 |
| Автор: | Палатник Л. С., Сорокин В. К. |
| Назва документа: | Материаловедение в микроэлектронике |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1978 |
| УДК | 621.3.049.77.002.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 279 с. |