| Номер документа в системі: | 73134 |
| Автор: | Ефимов И. Е., Горбунов Ю. И., Козырь И. Я. |
| Назва документа: | Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.3.049.77(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 464 с. |