| Номер документа в системі: | 73875 |
| Автор: | Черняев В. Н. |
| Назва документа: | Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.3.049.77.002(075.8)+004.31:621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 464 с. |