Номер документа в системі: | 73877 |
Автор: | Черняев В. Н. |
Назва документа: | Технология производства интегральных микросхем |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | Москва |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.3.049.77.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 376 с. |