| Номер документа в системі: | 73878 |
| Автор: | Парфенов О. Д. |
| Назва документа: | Технология микросхем |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.3.049.71.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 320 с. |