| Номер документа в системі: | 73964 |
| Автор: | Витязь П. А., Дубровская Г. Н., Кирилюк Л. М. |
| Назва документа: | Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.793.16 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.793 |
| Кількість сторінок | 96 с. |