| Номер документа в системі: | 74440 |
| Автор: | Вишняков Б. А., Осипов К. А. |
| Назва документа: | Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Москва |
| Рік видання: | 1970 |
| УДК | 621.315.592-416.002:537.533 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.23 |
| Кількість сторінок | 144 с. |