| Номер документа в системі: | 78134 |
| Назва документа: | Вопросы создания и оптимизации оборудовния микроэлектроники |
| Видавництво: | МИЭТ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.3.049.77.002.5(06) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 135 с. |