| Номер документа в системі: | 81674 |
| Автор: | Гаврилов Р. А., Скворцов А. М. |
| Назва документа: | Технология производства полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1968 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 240 с. |