| Номер документа в системі: | 82511 |
| Автор: | Гаряинов С.А. |
| Назва документа: | Диэлектрическая изоляция элементов интегральных схем |
| Видавництво: | Сов. радио |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 42 с. |