| Номер документа в системі: | 82856 |
| Автор: | Гелль Патрик |
| Назва документа: | Воспроизводимость при изготовлении пленочных микросхем |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1967 |
| УДК | 621.3.049.772(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 68 с. |