Номер документа в системі: | 84895 |
Автор: | Попов В.В. |
Назва документа: | Використання імпульсного високовольтного джерела живлення для півищення інтенсифікації іонно-плазмової обробки |
УДК | 666.1.038.6 |
Мова документу | Українська |
Шифр документу | Ч21 |
Кількість сторінок | С. 120-121. |