| Номер документа в системі: | 84907 |
| Автор: | Глаголева Н.Н. |
| Назва документа: | Полупроводниковые материалы и их обработка |
| Видавництво: | МФТИ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1980 |
| УДК | 621.315.592(07) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 68 с. |