| Номер документа в системі: | 85019 |
| Автор: | Глазков И. М. |
| Назва документа: | Оборудование для производства фотошаблонов и выполения операций фотолитографии |
| Видавництво: | Советское радио |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.382.002:776+778.644 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 73 с. |