| Номер документа в системі: | 85118 |
| Автор: | Глазов В.М., Земсков В.С. |
| Назва документа: | Физико-химические основы легирования полупроводников |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1967 |
| УДК | 621.315.592.002.53 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.5 |
| Кількість сторінок | 371 с. |