Номер документа в системі: | 85342 |
Автор: | Глудкин О.П., Густов А.Е. |
Назва документа: | Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС |
Видавництво: | Радио и связь |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1981 |
УДК | 621.3.049.77.002:658.562.3.012.7:535.24 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3 |
Кількість сторінок | 112 с. |