Номер документа в системі: | 86768 |
Автор: | Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. |
Назва документа: | Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1990 |
УДК | 621.315.592.002(075.8)+621.315.61.002(075.8) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315.592 |
Кількість сторінок | 422 с. |