| Номер документа в системі: | 87025 |
| Автор: | Голото И. Д., Докучаев Б. П., Колмогоров Г. Д. |
| Назва документа: | Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.382.002+621.30.49.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 209 с. |