Номер документа в системі: | 89142 |
Автор: | Готра З. Ю. |
Назва документа: | Технология микроэлектронных устройств |
Видавництво: | Радио и связь |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1991 |
УДК | 621.3.049.77.002(03) |
ISBN | 5-256-00699-1 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.3.049.77 |
Кількість сторінок | 528 с. |