| Номер документа в системі: | 89142 |
| Автор: | Готра З. Ю. |
| Назва документа: | Технология микроэлектронных устройств |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1991 |
| УДК | 621.3.049.77.002(03) |
| ISBN | 5-256-00699-1 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3.049.77 |
| Кількість сторінок | 528 с. |