Номер документа в системі: | 89227 |
Автор: | Гранкин И. М., Коломейко А. В., Погребняк В. П. |
Назва документа: | Высокоразрешающая неорганическая фотолитография |
Видавництво: | Вища школа |
Місто видання: | К. |
Рік видання: | 1983 |
УДК | 621.382.002:776 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 52 с. |