Номер документа в системі: | 89356 |
Автор: | Грачев В.М., Сабанова Л.С. |
Назва документа: | Методы и аппаратура жидкостной эпитаксии |
Видавництво: | Цветметинформация |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1974 |
УДК | 621.315.592-416 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 548 |
Кількість сторінок | 42 с. |